目前國內先進的等離子體設備使用的射頻電源，其主要技術性能（如輸出功率、頻率，阻抗匹配網絡等）已和國外同類電源基本一致，但在自動化程度上，體積上以及應用領域方面...
11月9日至12日，第七屆國際發明展覽會暨國際教學新儀器和新設備展覽會在昆山舉行，微電子所“固態射頻電源系統”和“45-22nm集成式光學臨界尺度（OCD）在線檢測設備”兩個...
