目前国内先进的等离子体设备使用的射频电源，其主要技术性能（如输出功率、频率，阻抗匹配网络等）已和国外同类电源基本一致，但在自动化程度上，体积上以及应用领域方面...
11月9日至12日，第七届国际发明展览会暨国际教学新仪器和新设备展览会在昆山举行，微电子所“固态射频电源系统”和“45-22nm集成式光学临界尺度（OCD）在线检测设备”两个...
